1

惠科金渝铜制程改造项目

重庆市巴南区界石镇石景路

重庆惠科金渝光电科技有限公司

重庆新境界环保工程有限公司

不新增用地面积，原址实施技改，在现有第8.5+代生产线基础上将湿法刻蚀机1台调整为CU、AL产品共用，湿法剥离机2台调整为CU、AL产品共用；配套新增铜酸分析仪、铜蚀刻液输送及供应系统、螯合剂供应系统、铜剥离液供应系统、废水处理及收集系统、废液收集系统等，对现有生产线实现铜制程技术改造。建成后AL制程最大设计产量110K/月，CU制程最大设计产量30K/月，两种产品产能根据市场需求柔性生产，总产能110K/每月不变。项目总投资6000万元，其中环保工程投资70万元。

一、施工期

施工期主要是厂房内部装饰、设备安装调试，工程量小、工期短，对周边环境影响弱，施工期影响较小。

二、运营期

废气：有机废气经沸石转轮吸附+RTO炉燃烧系统处理后经46米排气筒排放，剥离液废气经酸液喷淋塔处理后经46米排气筒排放，酸性废气经碱液喷淋吸收系统处理后经46米排气筒排放，碱性废气经碱性废气洗涤塔处理后经46米排气筒排放，特殊废气处理经POU焚烧（源头净化装置）+滤筒除尘+碱液喷淋吸收处理后经46米排气筒排放；本次技改后，干法刻蚀废气经POU系统处理后，全部纳入酸性废气处理系统进行处理。SRS锅炉废气已完成低氮燃烧改造，引至12m排气筒排放；废水处理站废气收集后进入洗涤塔处理后经30米排气筒排放，SRS工艺废气经1套立式喷淋塔处理后经15m排气筒排放。技改增加精馏塔，更换一台风机，增加了废气收集量。企业针对危废贮存库增加一套有机废气收集处理装置，无组织有机废气经收集，通过活性炭吸附处理后，经15m排气筒排放。

废水：企业现有废水处理站单独布置，内设酸碱废水处理系统、刻蚀废水处理系统、剥离废水处理系统、染料&TMAH废水处理系统、有机废水处理系统，各系统处理后汇入中和处理系统，处理达标后排放，生活污水及餐厅含油废水经隔油池及生化池，处理达标后排放。本次新增一套含铜废水预处理系统，处理能力为600t/d。配套建设相应输送管网。

噪声：利用现有设施，新增设备采取隔声、减振等措施减少噪声对环境的影响。

固废：一般固废：新增光阻液空桶外层金属废物。技改后，固废间最大储存量不变，新增光阻液空桶外层金属废物。

危险废物：本次技改项目，危废暂存库新增切桶机，将光阻液空桶内切，外层金属桶为一般固废，沾染光阻液的内部空桶为危废，实现危废减量化。新增打包机，将其他危废（类别HW49）的沾染废物CVD滤芯体积压缩后，使用金属铁丝打包捆绑，可提升贮存库房空间利用率。